晶圆缺陷检测设备的工作原理是什么？

岱美仪器技术服务2023-05-28

晶圆缺陷检测设备主要通过光学、电子学、声学等方式对晶圆进行检测。其中，光学是较为常用的检测方法，主要利用光学显微镜、激光扫描显微镜等设备对晶圆表面进行扫描，检测出其中的缺陷。我们岱美成立于1989年，是数据存储，半导体，光学，光伏和航空航天行业专业制造商和创新研发机构的先进设备分销商，我司将用心服务，尽善尽美，悉查客户需求，超越客户期待！

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